发展中的MOEMS压力传感器
2008-04-16 11:03
微型光机电系统（MOEMS）是微光学、微电子和微机械三者结合的产物，也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。作为光电信号转换系统，MOEMS的应用遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。利用MOEMS技术制作的新型光器件，介入损耗小，光路间相互串扰极低，对光的波长和偏振不敏感，并且通常以硅为主要材料，从而使器件的光学、机械、电气性能优良；而且，由于采用了模块化设计，更加方便了扩展应用。
与MEMS系统相比较，MOEMS系统的结构并不复杂，可是实际制造的复杂程度更高，实施的困难更大。因为系统必须留出一条光通道，但是其核心芯片却要密闭封装以防敏感的光学器件受到外界光线的影响，其关键是选用何种材料在密闭封装内做出导光盖或天窗。目前虽有多种材料可供选择，但是大多数天窗都采用陶瓷或金属以确保良好的密封性能。
与传统工艺的传感器相比，用MOEMS技术制作的传感器具有许多优点，如可以在严酷的环境下工作，有很大的传输带宽、很高的灵敏度、响应速度很快；而且，当光解调技术被应用以后，可以实现多传感器之间的相互问询[1]。如在一个MOEMS传感器阵列中使用波分复用（WDM）技术后，信号的收集就会变得更简单；同时，与以前使用电解调相比，效率也大为提高。
